Что такое цель распыления?

Накрывающееся напыление магнетронного распыления является новым методом нанесения на покрытие физического газа, которое заключается в том, чтобы использовать электронную пистолетную систему для излучения электронов и сосредоточиться на материале с покрытием, так что атомы распыления следуют принципу преобразования импульса, чтобы улететь от материала с высокой кинетикой энергия к подложке отложения пленки. Этот покрытый материал называетсяЦель распыления.

Применение мишени распыления

Распыление является одной из основных технологий подготовки тонких пленочных материалов, что использует ион, источник ионов посредством ускорения, собранных в вакууме, а образование высокой скорости может пул ионов, бомбардировку твердой поверхности, ионов и твердых веществ Поверхностная обмен атомным импульсом, от твердого поверхностного атомного твердого вещества и осаждения на базальной поверхности, бомбардированное твердое вещество - это пленка осаждения напыщенного сырья. Это называется распылением целевого материала. Различные типы распыления тонких пленочных материалов широко использовались в полупроводниковых интегральных цепях, записывающих носителях, планарном дисплее и покрытии поверхности заготовки. Высокотемпературная и высокая вакуумная среда в реакционной камере приводит к тому, что эти металлические атомы с образованием зерен, которые затем содержатся микропроводящими и тратят в слои металлических проводов, которые передают данные на чипе.

Цель распыления в основном используется в электронике и информационной промышленности, такая как интегральные схемы, хранение информации, жидкокристаллический дисплей, лазерная память, электронные устройства управления и т. Д. Также могут использоваться в поле стеклопокрытия; Он также может быть использован в износостойких материалах, высокотемпературной коррозионной стойкости, высококачественным декоративным продуктам и другим отраслям промышленности.