Цель металлического распыления

Тенденция развитияЦелевые технологии

Материал целевого распыления металла высокой чистоты в основном используется в производстве вафли и продвинутой упаковочной обработки. Принимая производство чипа в качестве примера, мы видим, что из кремниевого чипа к чипу необходимо пройти через семь производственных процессов, а именно диффузию (термалпроцесс), фотолитографию (травлению), ионной имплантации (I) Одержимость), диэлектриковую рассылку, химическую механическую полировку (CMP), металлозапись, каждая ссылка должна использовать оборудование, материалы и процесс, соответствующие одному на одну. Комплектная цель используется в процессе \"металлизации \" через оборудование для отложения тонких пленок с использованием высокоэнергетических частиц для бомбардировки. цель, а затем сформировать определенную функцию металлического слоя на микросхеме кремния, такого как проводящий слой, барьерный слой и т. Д.

Тенденция разработки целевой технологии распыления тесно связана с технологическими инновациями в полевых условиях. С технологическим прогрессом на рынке приложений в тонких пленочных продуктах или компонентах целевая цель распыления также необходимо соответственно изменять.

В полях приложений ниже по течению полупроводниковая промышленность имеет требования высочайшего качества для распыления целевой и распыления пленки. При изготовлении кремниевых вафлей большего размера целевая цель распыления также требуется для развития в направлении большего размера. В то же время он также выдвигает более высокие требования к контролю распыления целевого зерна.

Чистота распыления пленки тесно связана с чистотой распыляющей целью. Чтобы удовлетворить потребности более высокой точности и более тонкой микрондордоторной технологии, чистота распыления целевой цели увеличивается и даже достигает 99,9999% (6N) чистоты.

Целевые материалы в качестве стратегической развивающейся отрасли сосредоточены на поощрении развития и выпущенной промышленной политики, \"13-й пятилетний план \" предложил, что к 2020 году уровень самодостаточности основных и ключевых материалов для достижения более 70% Начальная реализация стратегического преобразования Китая из материальной страны к существенной власти. В настоящее время предприятия китайские предприятия сделали прорывы в области целевых материалов. Под нынешним экономическим фоном внутренние целевые материалы будут иметь большой прогресс.