Применение плазмы в технологии поверхностных покрытий

Отложение распыления

Распыление - это использование высокоскоростного ионного удара твердого веществаЦель распыленияТак что поверхностные молекулы разбрызгивают и проецируются на подложку для формирования пленки. Начальная кинетическая энергия иона распыления составляет около 100 ev.a Общий плазменный газ - аргон.

Оснащение в плазме

Газофазное химическое осаждение Химическая реакция осуществляется на высокотемпературной подложке для получения достаточного отклика энергии предшественника газа.

Плазменная полимеризация

Самая простая техника для нанесения покрытия полимерной или пластиковой пленки состоит в том, чтобы нанести его к растворителю, а затем на подложку. Способ покрытия Plasma Polimerization состоит в том, чтобы возбудить молекулярное мономер в плазму через химическую реакцию, с образованием единого полимера, покрытого на подложке. .Du к воздействию плазмы на подложку, адгезия также очень сильна.

Плазменное травление

Влажная щелочная травление является самым простым и дешевым методом, недостатком является то, что щелочная травление имеет кристальному самолету ориентацию, приведет к проблеме снижения нижней резки.

Плазменное распыление

Металлические детали, работающие при высоких температурах, должны быть покрыты керамикой для предотвращения высокой температуры коррозии.