Планарные целевые и вращающиеся различия цели

Общая цель распыления на рынке в основном включает в себя плоскость распыления цели иВращающаяся цель распыления

Для планарной цели его основные преимущества представляют собой простую структуру, сильную универсальность, однородность пленки и хорошую повторяемость. Это самый большой недостаток - низкая целевая скорость использования, как правило, только около 20%; когда цель в области свечения (область распределения магнитного поля) потребляется В определенной степени образуются полосовые ямы, что делает целевой разбавитель. Когда глубина ямы достигает определенного значения, цель больше не используется.

По сравнению с плоскими целями основные преимущества вращающихся целей являются их компактной структурой и более высокой скоростью использования целевой целевой целевой, что означает, что вращающиеся цели могут решить проблему низкой скорости утилизации плоских целей. Вращающиеся, вращающаяся цель также имеет некоторые неизбежные недостатки. При распылении на всей поверхности цели много сияющих колец, которые не могут образовывать непрерывную полосу свечения. Поэтому, когда большая площадь пленки покрыта, однородность поверхности пленки плохой, и трудно соответствовать требованиям , который является самым большим недостатком вращающейся цели.

Для получения дополнительной информации о целевых материалах, пожалуйста, свяжитесь с нами.