Нитрид тантала (загар)

Описание товара

Характерная черта


Нитрид тантала (Tan) представляет собой химическое соединение, нитрид тантала. Есть несколько фаз соединений, стехиминированные от TA2N к Та.3N5в том числе загар.


Химическая формула: загар

Молярная масса: 194,955 г / моль

Внешний вид: черные кристаллы

Плотность: 14,3 г / см3

Точка плавления: 3,090 ° C (5,590 ° F; 3,360 К)

Растворимость в воде: нерастворимый

Кристаллическая структура: гексагональный, HP6



заявка


Иногда он используется в изготовлении встроенной цепи для создания диффузионного барьера или \"клея \" слоев между медными или другими проводящими металлами. В случае обработки BEOL (на C. 20 нм) медь сначала покрывается танталом, затем с загаром с использованием физического осаждения пара (PVD); Этот барьерный покрытый медь затем покрывается более медью PVD, а также беседует с электролитически покрытой медью, прежде чем механически обрабатываться.


Он также имеет применение в тонких пленочных резисторах. Он имеет преимущество перед ничромными резисторами формирования пассивирующей оксидной пленки, которая устойчива к влаге.


MSDS.

Нитрид гафния (HFN)

Нитрид тантала (загар) / квадраты / квадраты

Пятиокись тантала (Ta2O5) - мишень для распыления

Хлорид тантала (TaCl5) - порошок

Нитрид титана (олово)