Нитрид тантала (загар)
Описание товара
Характерная черта
Нитрид тантала (Tan) представляет собой химическое соединение, нитрид тантала. Есть несколько фаз соединений, стехиминированные от TA2N к Та.3N5в том числе загар.
Химическая формула: загар
Молярная масса: 194,955 г / моль
Внешний вид: черные кристаллы
Плотность: 14,3 г / см3
Точка плавления: 3,090 ° C (5,590 ° F; 3,360 К)
Растворимость в воде: нерастворимый
Кристаллическая структура: гексагональный, HP6
заявка
Иногда он используется в изготовлении встроенной цепи для создания диффузионного барьера или \"клея \" слоев между медными или другими проводящими металлами. В случае обработки BEOL (на C. 20 нм) медь сначала покрывается танталом, затем с загаром с использованием физического осаждения пара (PVD); Этот барьерный покрытый медь затем покрывается более медью PVD, а также беседует с электролитически покрытой медью, прежде чем механически обрабатываться.
Он также имеет применение в тонких пленочных резисторах. Он имеет преимущество перед ничромными резисторами формирования пассивирующей оксидной пленки, которая устойчива к влаге.