Нитрид тантала (загар) / квадраты / квадраты
Описание продукта
Характерная черта
Нитрид тантала (TaN) представляет собой химическое соединение, нитрид тантала. Есть несколько фаз соединений, стехиметрически от Ta2С N на Ta3N5в том числе TaN.
Химическая формула ： TaN
Молярная масса ： 194,955 г / моль
Внешний вид ： черные кристаллы
Плотность ： 14,3 г / см3
Точка плавления ： 3,090 ° C (5,590 ° F; 3,360 K)
Растворимость в воде ： не растворим
Кристаллическая структура ： Гексагональная, hP6
заявка
Иногда его используют в производстве интегральных схем для создания диффузионного барьера или «склеивания» слоев между медью или другими проводящими металлами. В случае обработки BEOL (около 20 нм) медь сначала покрывается танталом, затем TaN с использованием физического осаждения из паровой фазы (PVD); эта медь с барьерным покрытием затем покрывается дополнительным количеством меди с помощью PVD и заполняется медью с электролитическим покрытием перед механической обработкой.
Он также применяется в тонкопленочных резисторах. Его преимущество перед резисторами из нихрома заключается в образовании пассивирующей оксидной пленки, устойчивой к влаге.