Нитрид тантала (загар) / квадраты / квадраты

Описание продукта

Характерная черта


Нитрид тантала (TaN) представляет собой химическое соединение, нитрид тантала. Есть несколько фаз соединений, стехиметрически от Ta2С N на Ta3N5в том числе TaN.


Химическая формула : TaN

Молярная масса : 194,955 г / моль

Внешний вид : черные кристаллы

Плотность : 14,3 г / см3

Точка плавления : 3,090 ° C (5,590 ° F; 3,360 K)

Растворимость в воде : не растворим

Кристаллическая структура : Гексагональная, hP6



заявка


Иногда его используют в производстве интегральных схем для создания диффузионного барьера или «склеивания» слоев между медью или другими проводящими металлами. В случае обработки BEOL (около 20 нм) медь сначала покрывается танталом, затем TaN с использованием физического осаждения из паровой фазы (PVD); эта медь с барьерным покрытием затем покрывается дополнительным количеством меди с помощью PVD и заполняется медью с электролитическим покрытием перед механической обработкой.


Он также применяется в тонкопленочных резисторах. Его преимущество перед резисторами из нихрома заключается в образовании пассивирующей оксидной пленки, устойчивой к влаге.



MSDS

Нитрид гафния (HFN)

Пятиокись тантала (Ta2O5) - мишень для распыления

Хлорид тантала (TaCl5) - порошок

Нитрид магния (MG3N2)

Нитрид тантала (загар)

Нитрид титана (TiN)-порошок