Метод изготовления целевого материала, классификация и приложение

Создание методаЦель распыленияmaterials

В настоящее время целевые материалы в основном подготовлены путем литья и порошковой металлургии.

1. Метод литья: сплавый сырье с определенным соотношением композиции расплавляется, а затем раствор сплава выливают в пресс для формирования слитка, и, наконец, мишень производится механической обработкой, а метод литья растаял и отливается в вакуум. Обычно используемые методы плавки представляют собой вакуумную индукционную плавку, вакуумную плавичую дуги и вакуумную комбинацию, плавать в вакууме. Недостатком является то, что для двух или более металлов с различными точками плавления и плотности трудно получить однородные целевые показатели сплава обыкновенным методом плавления.

2. Способ металлургии порошка: плавление сплавого сырья с определенным соотношением композиции расплавляется, наливают в слитки, а затем измельчают. Разбитый порошок образован изостатическим прессованием, а затем спеченным при высокой температуре и, наконец, образует целевой материал. Его преимущество заключается в том, что целевой материал является равномерным в составе; Недостатки - низкая плотность, высокая примесь содержание примеси, обычно используемая порошковая металлургия, включая холодную прессование, вакуумное горячее прессование и горячее изостатическое прессование.

Классификация и применение цели распыления

Согласно различной мишевой цели можно разделить на: металлическую цель, керамику (оксид, нитрид и т. Д.) Цель, целевой сплав.

Согласно различным направлениям приложения, его можно разделить на:

1. Полупроводниковая цель: электрод, проводка пленки: алюминиевая мишеня, медная мишень, золотая мишеня, серебряная мишеня, мишень палладия, целевая целевая целевая платина, алюминиевая целевая целевая кремния, алюминиевая целевая целевая силиконовая пленка. Цель, целевая цель титана и т. Д. Стеклоадгезионная пленка: целевая целевая вольфрама, титановая мишень и т. Д. Кермоизоляционная пленка.

2. Цель магнитной записи: вертикальная магнитная пленка для записи: целевая цель кобальто-хрома и т. Д. Жесткая дисковая пленка: целевая целевая целевая сплава Cobalt-Cr-Ta, целевой целевой сплав Cobalt-Cr-Pt, целевой целевой сплав COBALT-CR-PT, целевой сплав Cobalt-CR-TA и т. Д. Глава пленки: целевая целевая целевая целевая целевой сплава Cobalt Tantalum, целевая целевая целевая циркония Cobalt и т. Д. IOL Film: Цель кобальто-платинового сплава, целевой целевой сплава Cobalt-Palladium и т. Д.

3. Цель оптической записи: ФАЗА ИЗМЕНЕНИЯ ФАЗА РЕЗУЛЬТАТИЧЕСКОЙ ФИЛЬМЫ: TELDURIDE MALL, целью селенида, целевая целевая целевая целевая целевая целевая целевая сплава Германия. Цель сплава из железа и кобальта, мишень алюминия, мишень оксида алюминия, мишень оксида магния, мишеня нитрида кремния и т. Д. Оптический дисковый отражение пленки: AL Target, Al Ti Target, цель AL CR, Цель золота, Цель золотой сплава и т. Д. Цель нитрида, мишень оксида кремния, мишеня сульфида цинка и т. Д.

4. Дисплей Цель: прозрачная проводящая пленка: Цель оксида индия оксида, алюминиевая мишеня оксида цинка, алюминиевая мишеня и т. Д. Электродомодающая пленка, целевая мишень молибдена, целевая целевая вольфрама, мишень титана, мишень тантала, алюминиевая целевая цель, алюминиевый тантал. Цель сплава и т. Д. Электролюминесцентные пленки: целевая целевая целевая мишенью сульфида цинка, легированная термическая мишень, легированная термия цинка, целевая целевая целие с сульфидом кальция, мишень оксида иттрия, мишень оксида тантала, мишень оксида бария и т. Д.

5. Прочие целевые применения: декоративная пленка: титановая целевая целевая целевая целевая целевая целевая мишень хрома, мишень из алюминиевого сплава титана, мишень из нержавеющей стали и т. Д. Низкий сопротивляемость пленки сплава Ni-Cr, алюминий Ni-Cr Цель сплава, целевой целевой сплава Ni-Cu и т. Д. Сверхпроводящая пленка: YBCO Target, мишень кислорода Calcium Calcium Calcium. Пленка для инструмента: мишеня нитрида, целевая целевая целевая карбида, мишеня борид, мишеня хрома, мишень титана, мишень титана, мишеня циркония, целевая целевая цена и т. Д.