Материал целевого распыления: полупроводниковый материал чип король

ЧтоЦель распыления?

В чип-индустрии с высокими технологиями напыщенная цель является необходимым сырьевым для производства VLSI. Что использует ион, ионный источник посредством ускорения, собранного в высоком вакууме, и образование высокой скорости может ионного пучка, бомбардировку твердой поверхности, ионов и цельного обмена атомной импульсной импульсной поверхностью, от цельного обмена атомной поверхности, из твердых поверхностей. Базальная поверхность, бомбардированная твердая пленка напыления пленки сырья, известная как целевые материалы распыления. Целевой материал является основным материалом в процессе распыления.

Устройство устройства встроенной схемы состоит из субстрата, изоляционного слоя, диэлектрического слоя, слоя проводника и защитного слоя. Среди них диэлектрический слой, слой проводника и даже защитный слой должны использовать процесс напыления покрытия, поэтому мишень распыления является одним из основных материалов для приготовления встроенной схемы. Цели покрытия в области интегральной схемы в основном включают алюминиевую мишень, мишень титана, целевую целевую цену, танталовую мишень, целевую цену вольфрама-титана и т. Д., Которые требуют высокой чистоты цели, как правило, более 5n (99,999%).

Целевая классификация: Существует много видов распыления целей, в соответствии с различными стандартами классификации, могут быть разные категории. Цели на распыление могут быть классифицированы по форме, химическому составу и поле применения.

Цель распыления: хотя объем невелик, основная технология

Материал целевого распыления металла высокой чистоты в основном используется в производстве вафли и продвинутой упаковочной обработки. Принимая производство чипа в качестве примера, мы видим, что из кремниевого чипа к чипу необходимо пройти через семь производственных процессов, а именно термалпроцесс, фотолитографию, травленую, ионимплантащую, диэлектрику, CMP, металлизацию, каждую ссылку необходимо использовать оборудование, Материалы и процесс, соответствующие одному на один. Цель распыления используется в процессе \"металлизации \", через оборудование для осаждения тонкого пленки с использованием высокоэнергетических частиц для бомбардировки цели, а затем образуют определенную функцию металлического слоя на микросхеме, такой как проводящий слой, барьер слой и т. Д.