Материал целевого вольфрама высокой чистоты (производство чипов)

Применение вольфрамовой распылительной цели

Высокая чистотаЦель вольфрамаявляется важной подложкой для перехода пленки вольфрама в полупроводниковых устройствах. Из-за высокой температуры плавления вольфрама вольфрамовые цели в основном получают порошковой металлургией. Способ приготовления включает в себя чистоту 99,999% или более, размер частиц 3,2 4,2,2 мкм порошка вольфрамового вольфрама для равномерного перемешивания, размещенного в вакуумной термической обработке печи для предварительной дегазации, а затем в водород, продолжают продолжать шаги дегазации нагрева; Дегазировал вольфрамовый порошок через вакуумное горячее прессование для завершения шага спекания; Второй процесс спекания завершается горячим изостатическим прессом после первого спекания. Изменяя целую поверхность второй спеченной вольфрамовой пластины через обрабатывающую, полученную целевой целевой материал высокой чистоты с чистотой 99,999% и плотность 99% и выше для полупроводника, который имеет преимущества высокой чистоты, высокой плотности и низкого сопротивления.

Чистота мишени вольфрама в полупроводниковой полупроводниковой интегральной цепи обладает высоким требованием, как правило, целевая чистота должна быть выше 99,999%. В то же время плотность цели также имеет важное влияние на процесс покрытия и производительность пленки, плотность цели не только влияет на скорость осаждения, плотность частиц пленки напыления и феноменом разряда, Но также влияет на электрические и оптические свойства пленки распыления. Тоннцентная цель, тем ниже плотность частиц пленки напыления, тем слабее феномена разряда, а тем лучше производительность пленки.

Только несколько компаний в Соединенных Штатах и ​​Японии освоили технологию производства целей вольфрама, используемых в чип-производстве. К счастью, при поддержке \"Сделано в Китае 2025 \" политика, все более талантливые люди вернулись в Китай, чтобы начать свои предприятия, привлекая к ним передовым технологическим опытом и создавая лучшую атмосферу для исследований и разработок. Это не только заканчивалось историю металлического целевого материала, необходимого на импорт, но и вступила в первый в мире эшелон в этой области.