Борид-мишени и связанные с ними параметры

Параметрыборид

Материал целевого материала LAB6, точка плавления 2230 ℃, плотность 4,7 г / см3, удельное сопротивление 15 мм ω · см, твердость Виккерс 27.7 GPA.

Цель Tib2, точка плавления 2980 ℃, плотность 4,5 г / см3, удельное сопротивление 9 ~ 15 мкм Ω · см, твердость Виккерс 33,5 ГПа.

ZRB2 Целевой материал, температура плавления 3040 ℃, плотность 6,1 г / см3, удельное сопротивление 7-10 мкм Ω · см, твердость виклей 22,5 ГПа.

Главный материал HFB2, точка плавления 3250 ℃, плотность 11,2 г / см3, удельное сопротивление 10 ~ 12 мкм · см., Виккерс твердость 29 GPA.

Целевой материал NBB2, точка плавления 3000 ℃, плотность 7G / см3, удельное сопротивление 12 ~ 65 мкм · см., Виккерс твердость 26 GPA.

Tab2 Целевой материал, температура плавления 3100 ℃, плотность 12,6 г / см3, удельное сопротивление 14 ~ 68 мкм ω · см, твердость Vickers 25 GPA.

Целевой материал CRB2, точка плавления 1950 ℃, плотность 5,2 г / см3, удельное сопротивление 21 ~ 56 мкм ω · см, твердость виклей 18 Гпа.

Материал целевого материала MOB2, точка плавления 2250 ℃, плотность 7,7 г / см3, удельное сопротивление 20 ~ 40 мкм ω · см, твердость 12GPA виклей.

Цель W2B5, точка плавления 2200 ℃, плотность 13,1 г / см3, удельное сопротивление 21 ~ 56 мкм ω · см, твердость виклей 26,5 Гпа.