Металлический сплав
- Tungsten MolyBdenum (W / MO (90:10)) - Цель распыления
- Алюминиевый самарий сплав (ALSM)
- Никель хромовый сплав (NiCr) -Wire
- Медный цинк (CUZN (70:30 у%)) - Цель распыления
- Титановый кремний сплав (TISI)
- Медный железо (CUFE (99: 1 мас.%) - Цель распыления
- Никель цирконий сплава (NIZR (50/50 мас.%)) - Цель распыления
- Кобальтовый тантал цирконий сплав (COTAZR)
- Никель алюминиевый сплав (Nial)
- Алюминиевый сплав цинка (Znal (98: 2 WT%)) - распыляющая цель