Галогенид керамической распылительной целью
- Фторид натрия (NaF) - мишень для распыления
- Фторид иттрия натрия (NaYF4) - мишень для распыления
- Фторид цинка (ZnF2) - мишень для распыления
- Фторид кальция (CAF2)
- Фторид магния (DFM) (MGF2)
- Фторид бария (BAF2)
- Фторид церия (CeF3) - мишень для распыления
- Фторид лантана (LaF3) - мишень для распыления
- Фторид иттербия (YbF3) - Мишень для распыления