Силицид титана (TiSi2) - мишень для распыления
Описание товара
Характерная черта
Дисилицид титана (TiSi2) - неорганическое химическое соединение.
Химическая формула：TiSi2
Молярная масса 104,038 g / mol
Внешний вид ： черные ромбические кристаллы
Плотность ： 4,02 г / см3
Температура плавления - 1470 ° C (2680 ° F; 1740 K)
Растворимость в воде: не растворим.
Растворимость ： растворим в HF
заявка
Силицид титана используется в полупроводниковой промышленности.Обычно его выращивают с помощью технологии салицида на линиях кремния и поликремния, чтобы уменьшить сопротивление слоев локальных соединений транзисторов.В микроэлектронной промышленности он обычно используется в фазе C54.