Силицид титана (TiSi2) -Порошок

Характерная черта

Дисилицид титана (TiSi₂) представляет собой неорганическое химическое соединение.

Химическая формула₂

Молярная масса ： 104,038 г / моль

Внешний вид ： черные ромбические кристаллы

Плотность ： 4,02 г / см³

Точка плавления ： 1470 ° C (2680 ° F, 1740 K)

Растворимость в воде ： не растворим

Растворимость ： растворим в HF

заявка

Силицид титана используется в полупроводниковой промышленности.Обычно его выращивают с помощью технологии салицида на линиях кремния и поликремния, чтобы уменьшить сопротивление слоев локальных соединений транзисторов.В микроэлектронной промышленности он обычно используется в фазе C54.

Силицид титана-MSDS.pdf