Силицид вольфрама (WSi2) - мишень для распыления

Характерная черта

Силицид вольфрама (WSi₂) представляет собой неорганическое соединение, силицид вольфрама.Это электропроводящий керамический материал.

Химическая формула: WSi₂

Молярная масса: 240,011 г / моль

Внешний вид: серо-голубые тетрагональные кристаллы.

Плотность: 9,3 г / см³

Температура плавления: 2160 ° C (3920 ° F, 2430 К)

Растворимость в воде: не растворим.

заявка

Используется в микроэлектронике в качестве контактного материала с удельным сопротивлением 60–80 мкОм см;он образуется при 1000 ° C.Его часто используют в качестве шунта над линиями поликремния для увеличения их проводимости и увеличения скорости сигнала.Слои силицида вольфрама могут быть получены путем химического осаждения из паровой фазы, например, с использованием моносилана или дихлорсилана с гексафторидом вольфрама в качестве исходных газов.Осажденная пленка нестехиометрическая и требует отжига для преобразования в более проводящую стехиометрическую форму.Силицид вольфрама является заменой более ранних пленок вольфрама.Силицид вольфрама также используется в качестве барьерного слоя между кремнием и другими металлами, например вольфрамом.

Силицид вольфрама также представляет ценность для использования в микроэлектромеханических системах, где он в основном применяется в виде тонких пленок для изготовления микросхем микромасштабов.Для таких целей пленки силицида вольфрама можно травить в плазме с использованием, например, газообразного трифторида азота.

WSi₂хорошо работает в качестве стойких к окислению покрытий.В частности, подобно дисилициду молибдена, MoSi₂, высокая излучательная способность дисилицида вольфрама делает этот материал привлекательным для высокотемпературного радиационного охлаждения с последствиями для тепловых экранов.

Силицид вольфрама-MSDS.pdf