Вращающаяся мишень для распыления кремния (Si) -Spray
Описание товара
Характерная черта
Кремний является важным типом материалов для распыления мишеней, в основном используемых в реакционной системе магнетронного распыления покрытия SiO2 и диэлектрического слоя SiN, в качестве важных функциональных тонкопленочных материалов, они обладают хорошей твердостью, оптическими и диэлектрическими свойствами, износостойкостью, коррозионной стойкостью и прочностью. другие характеристики в оптике, микроэлектронике и других областях имеют широкую перспективу применения, а функциональные материалы широко привлекают международное внимание.
Обычно кремниевые мишени можно разделить на монокристаллические и поликристаллические.
заявка
Используется для изготовления пленки SiO2 / Si3N4, в основном используется для оптического стекла, системы AR-пленки сенсорного экрана, стекла с покрытием Low-E, полупроводниковой электроники, плоского дисплея, сенсорного экрана.