AZO Target (оксид цинка, легированный оксидом алюминия)

Тонкие пленки ZnO (AZO), легированные алюминием, осаждаются экономически универсальным производственным методом электрораспыления на два типа подложек - стекло и кремниевую пластину, при температуре подложки 300 ° C, напряжении 18 кВ и расстоянии от эмиттера до коллектора 6 см. Дегидрат ацетата цинка, растворенный в смеси деионизированной воды, этанола и уксусной кислоты, используется для осаждения нелегированной пленки ZnO, в то время как для легирования алюминием выбираются два исходных материала - хлорид алюминия и нитрат алюминия, растворенные в этаноле. Уровни легирования составляют 5 и 10 мас.%. Исследована концентрационная зависимость свойств пленок. Все пленки демонстрируют поликристаллическую структуру с уменьшающимся размером кристаллитов с 21 нм для нелегированных пленок до 19 и 17 нм для пленок AZO (оксида цинка, легированного оксидом алюминия), легированного 5 и 10 мас.% Al, соответственно. Сдвиг пиков XRD легированных образцов в сторону больших углов дифракции свидетельствует об успешном внедрении Al в решетку ZnO. Оптические свойства исследуются методами эллипсометрии и фотолюминесценции. Наблюдается уменьшение показателя преломления с 1,89 для нелегированного образца до 1,84 и 1,83 для пленок 5 и 10% AZO (оксида цинка, легированного оксидом алюминия), соответственно, и увеличение оптической ширины запрещенной зоны с 3,30 до 3,40 эВ. Для пленок AZO измерено существенное уменьшение сопротивления листа: 86 Ом / □ и 61 Ом / □ для образцов с 5 мас.% И 10%, соответственно. Одновременно сохраняется высокий коэффициент пропускания пленок. Средние значения в видимом диапазоне для пленок толщиной 200 нм составляют 86% для нелегированных пленок и 84% и 80% для пленок, легированных 5 и 10% алюминия, соответственно. Таким образом, продемонстрирована применимость исследованных пленок в качестве прозрачных проводящих электродов.