Четыре основных метода формовывания для целевого материала ITO

Как мы все знаем, цель распыления ITO - это черный серый керамический полупроводник, образованный путем смешивания порошка оксида индия и оксида оксида в определенной пропорции в атмосфере высокой температуры (1600 градусов, кислородном спекании) через серию производственных процессов. Цель ITO использовалась в качестве сырья для окисления пленки ITO к стеклянной подложке или гибкой органической пленке магнетронным распылением. Фильм ITO обладает проводимостью и легкой передачей, а его толщина обычно составляет 30 мм ~ 200 нм.

Есть четыре основных метода формирования дляITO Target.:

Вакуумное горячее прессование - это процесс для уплотнения керамических материалов с использованием тепловой энергии и механической энергии, которая может производить керамические мишени ITO с плотностью 91% ~ 96%. Процесс заключается в следующем: Нагрейте пресс-форм, добавьте образец, прикрепите пресс-форм к нагревательной пластине (контролируйте температуру плавления и время), затем расплавить образец, затвердевайте его, остыть его и, наконец, выделить готовый продукт.

Горячее изостатическое прессование (бедро) можно рассматривать как спекание под давлением или высокой температурой. По сравнению с традиционным прессованным спеканием, горячим изостатическим прессованием может сделать материал полностью компактным при более низкой температуре (как правило, примерно 0,5 ~ 0,7 раза точка плавления материала). Он может хорошо контролировать конструкцию, сдерживать рост зерна и получить равномерную и изотропную структуру. Процесс целевого препарата ITO путем горячего изостатического прессования заключается в следующем. Во-первых, порошок твердого раствора ITO частично уменьшался в определенной восстановительной атмосфере (такой как смесь H2, N2 и H2) и при 300-500 ℃. Затем уменьшенный порошок вдавливается в преформы путем литья или холодного изостатического прессования. Заголовки помещаются в контейнеры из нержавеющей стали с изоляцией между ними. Контейнер затем вакуумируется и герметичен. Наконец, Mate Mater Target был подготовлен путем размещения контейнера в горячей изостатическом давлении под давлением при 800 ~ 1050 ℃ и 50 ~ 200 МПа в течение 2 ~ 6 часов.

Комнатная температура спекание - это метод целевой подготовки, разработанный в начале 1990-х годов. Он использует метод предварительного использования (или метод литья суспензии) для подготовки префинансированной цели высокой плотности, а затем спекания при определенной атмосфере и температуре. Основным процессом метода атмосферного спекания является: порошок IN2O3 (с определенной плотностью вибрации) и порошок SnO2, смешанный, приготовленный в суспензию для суспензии. Затем он обезвожены и делится в течение длительного времени при 300 ~ 500 ℃ и, наконец, спешатся в чистое кислород или воздушную атмосферу при давлении более 1 атмосферы при температуре спекания от 1450 до 1550 ° С.

Холодное изостатическое прессование (CIP) принимает резина или пластик в качестве крышки материала и жидкость в качестве подмышечной среды для обеспечения супер высокого давления при комнатной температуре. При защите кислородной атмосферы низкого давления порошок ITO был вдавлен в большую керамическую сборную стержень холодным изостатическим прессованием, а затем спеченным при 1500 ~ 1600 ℃ в чистой кислородной среде 0,1 ~ 0,9 МПа. Этот метод может теоретически производить керамические цели с плотностью 95%.