Цель распыления ITO

Метод подготовкиЦель распыления ITOматериал

Вакуумное горячее прессование

Высокая плотность ITO керамической мишени с плотностью 91% ~ 96% может быть получена с использованием тепловой и механической энергии для уплотнения порошка ITO путем вакуумного горячего прессования. Этот метод может легко получить цель ITO с плотностью, близкой к ожидаемой и пористости. Zero. Насколько из-за ограничения оборудования и размера пресс-формы, вакуумное горячее прессование имеет меньшие преимущества при подготовке целевой мишени на распылении большого размера.

Горячая изостатическое прессование

Горячая изостатическое прессование (HIP) используется для приготовления целей распыления ITO путем спекания под давлением или под давлением при высокой температуре. Примирают вакуумное горячее прессование, бедра можно нагревать и под давлением для достижения высокой плотности (почти теоретическая плотность) и превосходных физических и механических свойств. . Но он также ограничен оборудованием давления и размером цилиндра.

Комнатная температура спекания

Комнатная температура спекания заключается в том, чтобы сначала подготовить мишень высокой плотности, сборную наливание в суспензии или вспомогательным путем, а затем спеканию цели ITO при определенной атмосфере и температуре. Это наибольшее преимущество состоит в том, что он может производить большой размер целевого материала, по сравнению с другим спеканием. Методы, чистота цели, приготовленной этим методом, ниже.

Холодное изостатическое прессование

Холодное изостатическое прессование (CIP) принимает резина или пластик, как покрывающий материал и жидкость, в качестве среды под давлением для переноса супер высокого давления при комнатной температуре .Cip также может приготовить мишень распыления ITO с более крупным размером. И дешевый, подходит для массового производства. Как ни CIP требует Материал спечеван при 1500 ~ 1600 ° С в чистой кислородной среде 0,1 ~ 0,9 МПа, что имеет высокий риск.

Применение материала целевого материала ITO

Цель распыления ITO и его производные, такие как фильм ITO и стекло ITO, широко используются во всех прогулках Life.Ito Targets, обычно используются для изготовления прозрачных проводящих покрытий для жидкокристаллических дисплей (ЖК-дисплей), дисплея плоской панели, дисплеи плазмы и касания Панели. Фильмы ITO используются для органических светодиодов, солнечных элементов и антистатических покрытий. В дополнение к электронному индустрии, цели ITO также используются в различных оптических покрытиях, что, в частности, инфракрасные отражающие покрытия и стекло лампы натрия для автомобилей.