Annoutcent: Добро пожаловать на посещение нашего веб-сайта, любой запрос, пожалуйста, проверьте свяжитесь с нами. Сопутствующие бизнес, пожалуйста, подтвердите нашим продавцам, приятного посещения поездки.
FUNCMATER
+86-029-88993870                 sales@funcmater.com
Вы здесь: Дома » Продукты » Тонкопленочные материалы покрытия » Керамические напыщенные цели » Силицидная керамическая целевая цель » Силицид вольфрама (WSi2) - мишень для распыления

ИНФОРМАЦИЯ О ПРОДУКТЕ

loading

Поделиться с:
facebook sharing button
twitter sharing button
line sharing button
wechat sharing button
linkedin sharing button
pinterest sharing button
sharethis sharing button

Силицид вольфрама (WSi2) - мишень для распыления

  • 12039-88-2

  • WSi2

  • 743400ST

  • 99,5%

  • 4 дюйма диаметром x 0,25 дюйма толщиной и т. Д.

  • 234-909-0

штат:

Характерная черта


Силицид вольфрама (WSi2) представляет собой неорганическое соединение, силицид вольфрама.Это электропроводящий керамический материал.


Химическая формула: WSi2

Молярная масса: 240,011 г / моль

Внешний вид: серо-голубые тетрагональные кристаллы.

Плотность: 9,3 г / см3

Температура плавления: 2160 ° C (3920 ° F, 2430 К)

Растворимость в воде: не растворим.



заявка


Используется в микроэлектронике в качестве контактного материала с удельным сопротивлением 60–80 мкОм см;он образуется при 1000 ° C.Его часто используют в качестве шунта над линиями поликремния для увеличения их проводимости и увеличения скорости сигнала.Слои силицида вольфрама могут быть получены путем химического осаждения из паровой фазы, например, с использованием моносилана или дихлорсилана с гексафторидом вольфрама в качестве исходных газов.Осажденная пленка нестехиометрическая и требует отжига для преобразования в более проводящую стехиометрическую форму.Силицид вольфрама является заменой более ранних пленок вольфрама.Силицид вольфрама также используется в качестве барьерного слоя между кремнием и другими металлами, например вольфрамом.


Силицид вольфрама также представляет ценность для использования в микроэлектромеханических системах, где он в основном применяется в виде тонких пленок для изготовления микросхем микромасштабов.Для таких целей пленки силицида вольфрама можно травить в плазме с использованием, например, газообразного трифторида азота.


WSi2хорошо работает в качестве стойких к окислению покрытий.В частности, подобно дисилициду молибдена, MoSi2, высокая излучательная способность дисилицида вольфрама делает этот материал привлекательным для высокотемпературного радиационного охлаждения с последствиями для тепловых экранов.


на: 
под: