Силиконовая вафля после гидрофильного и гидрофобного лечения

Характеристика поверхности кремниевой пластины после гидрофильной и гидрофобной обработки атомным микроскопом

Поверхностные свойстваСиликоновая вафляявляются ключевыми параметрами для успеха методики прямой склеивания кремния в полупроводниковой промышленности. Гидрофильность и шероховатость кремниевых поверхностей, обрабатываемых тремя типичными поверхностными процедурами в методике прямого склеивания, систематически оцениваются микроскопией атомной силы (AFM).

Гидрофторические (HF) - лесные силиконовые поверхности, используемые для гидрофобных склеиваний, демонстрируют незначительное изменение сил адгезии с влажностью. Но лечение HF приводит к увеличению большой шероховатости, предлагая желаемые дополнительные процессы. RCA 1 Обработанные и тепловые окисленные силиконовые поверхности показывают сильное увеличение усилий адгезии, когда у влажности окружающей среды увеличивается с 10% до примерно 60%. Дальнейшее повышение влажности приводит к падению силы адгезии. Считается, что это связано с изменением структуры поглощенного водного слоя на поверхностях.

В качестве гидрофильных обработанных поверхностей проявляют сильные силы адгезии в широком диапазоне влажности, прямое соединение должно проводиться при низкой влажности для уменьшения формирования водяного пузыря в интерфейсе связи. Кроме того, гидрофильные методы лечения могут значительно снизить шероховатость поверхности, что благоприятствуется для прямого склеивания.