Процесс изготовления вафли кремния

До того, как полупроводник может быть построен, силиконовыйдолжен превратиться в вафлю. Это начинается с роста кремния слитка. Выращивание кремния слитка может занять где угодно от одной недели до одного месяца, в зависимости от многих факторов, включая размер, качество и спецификацию. Давайте глубже посмотрите на обработку вафли кремния и как именно они сделаны.

Грот рост для выращивания слитка, первый шаг - нагреть кремний до 1420 ° C, над точкой плавления кремния. После того, как проживание поликристаллической и допневой комбинации сжижена, один кристалл кремния, семян, расположен сверху расплава, едва прикасаясь к поверхности. Семя имеет одинаковую кристаллическую ориентацию, требуемую в готовом слитке. Slicingonce Ingot полностью выращен, он находится до диаметра размера грубого размера, который немного больше, чем целевой диаметр конечной вафли кремния. После прохождения ряда проверок на слитках продолжается нарезка. Из-за твердости кремния алмазная края видела осторожно ломтизируйте кремниевые вафли, чтобы они немного толщины, чем целевая спецификация.

Очистка финального и наиболее важного этапа в производственном процессе полирует вафля. Этот процесс проходит в чистой комнате. Чтобы помочь сохранить этот уровень чистоты, рабочие должны носить костюмы чистых комнат, которые покрывают свое тело от головы до носа и не собирают или несут никаких частиц. Они также стоят под вентилятором, который удаляет любые маленькие частицы, которые могли бы накопить перед входом в комнату.